产品资料

住友臭氧水装置

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: 住友臭氧水装置
产品型号: SGXF
产品展商: 其它品牌
产品文档: 无相关文档

简单介绍

住友臭氧水装置 住友的臭氧发生器采用平板式放电电池,通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成,以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/(n),是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。 住友臭氧水装置


住友臭氧水装置  的详细介绍
住友臭氧水装置

住友的臭氧发生器采用平板式放电电池,通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成,以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/(n),是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。

住友臭氧水装置


应用:

半导体器件

Si/复合晶圆

FDPLTPSHTPSTFT、彩色滤光片、OLED

光罩

发光二极管

 

具体

溶解臭氧浓度

5 to 30ppm

臭氧化超纯水流量

1 to 60L/min

原料气

氧气、二氧化碳

功率

200-220VAC, 3-phase


优势:
根据所需流量改变流量。(降低超纯水消耗量)
多室电源
采用喷射溶解法快速反应。
与臭氧监测仪(闭环控制)集成的稳定浓度
无氮臭氧水
运行成本低(功耗低,易损件数量少,放电单元寿命长)
高压耐受,长寿命放电单元
关闭期间免维护

产品留言
标题
联系人
联系电话
内容
验证码
点击换一张
注:1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!