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住友臭氧水装置

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产品名称: 住友臭氧水装置
产品型号: SG-HE Series
产品展商: 其它品牌
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简单介绍

住友臭氧水装置 住友的臭氧发生器采用平板式放电电池,通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成,以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/(n),是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。 住友臭氧水装置


住友臭氧水装置  的详细介绍
住友臭氧水装置

住友的臭氧发生器采用平板式放电电池,通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成,以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/(n),是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。

住友臭氧水装置


应用:

半导体器件

Si/复合晶圆

FDPLTPSHTPSTFT、彩色滤光片、OLED

光罩

发光二极管

 

具体信息:

臭氧气体流速

300g/(N)

臭氧气体供应压力

140L/min175L/min210L/min200g/(N))

冷却水温度

20°C±2°C

 

尺寸

W700×D900×H2,154 (140L/min)

冷却水流速比

>48L/min

功率

AC200V 3-phase



优势:

高流量;高达210 l/min

高压耐受,长寿命放电单元

快速启动,快速响应

与臭氧监测仪(闭环控制)集成的稳定浓度



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