产品资料

住友臭氧水装置

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: 住友臭氧水装置
产品型号: SGVP-440
产品展商: 其它品牌
产品文档: 无相关文档

简单介绍

住友臭氧水装置 住友的臭氧发生器采用平板式放电电池,通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成,以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/(n),是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。 住友臭氧水装置


住友臭氧水装置  的详细介绍
住友臭氧水装置

住友的臭氧发生器采用平板式放电电池,通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成,以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/(n),是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。

住友臭氧水装置


应用:

1. 半导体器件

2. Si/复合晶圆

3. FDPLTPSHTPSTFT、彩色滤光片、OLED

4. 光罩

5. 发光二极管

 

具体规格

臭氧气体流速

1.6L/min [at 210g/m3(N)]

臭氧气体供应压力

*大0.3MPa

冷却水温度

20°C±2°C

 

尺寸

W210mm x D350mm x H500mm

重量

17kg

功率

200-220VAC/100-110VAC, 1-phase


优势:
高浓度;高达400g/m3(N),高压;*大0.3Mpa
内置式小机组,功能少,价格低
高压耐受,长寿命放电单元
快速启动,快速响应



产品留言
标题
联系人
联系电话
内容
验证码
点击换一张
注:1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!