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住友臭氧水装置

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产品名称: 住友臭氧水装置
产品型号: GRF Series
产品展商: 其它品牌
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简单介绍

住友臭氧水装置 住友的臭氧发生器采用平板式放电电池,通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成,以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/(n),是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。 住友臭氧水装置


住友臭氧水装置  的详细介绍

住友臭氧水装置

住友的臭氧发生器采用平板式放电电池,通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成,以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/(n),是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。

住友臭氧水装置


住友臭氧水装置应用:

1. 半导体器件

2. Si/复合晶圆

3. FDPLTPSHTPSTFT、彩色滤光片、OLED

4. 光罩

5. 发光二极管

 

具体规格

臭氧气体流速

1L/min to 24L/min 
[at 210g/m3(N)]

臭氧气体供应压力

*大0.15MPa

冷却水温度

20°C±2°C

尺寸

W483mm x D453mm x H266mm

重量

30 to 45kg

功率

200-220VAC, 3-phase



住友臭氧水装置优势:

高浓度;高达400g/m3N),不含氮掺杂

19英寸机架尺寸标准型号

丰富的产品线;小容量到大容量

高压耐受,长寿命放电单元

快速启动,快速响应

与臭氧监测仪(闭环控制)集成的稳定浓度

CENRTL、半标准适用

管道材料;从316LSSP中选择




住友臭氧水装置



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